一种磁控溅射设备

摘要

本实用新型提供一种磁控溅射设备，包括固定板、背板及靶材，所述背板及靶材通过竖直板固定在所述固定板上，所述背板上焊接有所述靶材，所述靶材四周边缘设有挡边条，所述靶材下方被击穿部位设有凸起部，所述凸起部呈圆形，所述背板的上表面设有凹槽，所述凹槽与所述凸起部形状相匹配，所述凸起部的数量与所述凹槽的数量相同，均为四个，四个所述凸起部分别设置于所述靶材的四个角上。本实用新型的有益效果是可以有效提高靶材利用率，延长靶材寿命。

主权项

一种磁控溅射设备，包括固定板、背板及靶材，其特征在于：所述背板及靶材通过竖直板固定在所述固定板上，所述背板上焊接有所述靶材，所述靶材四周边缘设有挡边条，所述靶材下方被击穿部位设有凸起部，所述凸起部呈圆形，所述背板的上表面设有凹槽，所述凹槽与所述凸起部形状相匹配，所述凸起部的数量与所述凹槽的数量相同，均为四个，四个所述凸起部分别设置于所述靶材的四个角上。