一种带防爆装置的宝石炉真空系统

摘要

一种带防爆装置的宝石炉真空系统，由抽高真空路径和抽低真空路径两路组成，所述抽低真空路径包括和真空室连通的抽气管道，抽气管道和气动高阀的输入端连接，气动高阀的旁路输出端和第一气动阀的连通端连接，第一气动阀的阀门端依次与波纹管和机械泵连接；所述抽高真空路径包括通过冷阱和气动高阀的主输出端依次连接的扩散泵和气筒，气筒和第二气动阀的阀门端连接，第二气动阀的连通端和波纹管连接，在所述气动高阀上安装有防爆装置；本实用新型具有结构简单，易于操作和维护，有效防止设备爆炸的特点。

主权项

一种带防爆装置的宝石炉真空系统，其特征在于：由抽高真空路径和抽低真空路径两路组成，所述抽低真空路径包括和真空室连通的抽气管道（1），抽气管道（1）和气动高阀（2）的输入端连接，气动高阀（2）的旁路输出端和第一气动阀（8）的连通端连接，第一气动阀（8）的阀门端依次与波纹管（9）和机械泵（10）连接；所述抽高真空路径包括通过冷阱（5）和气动高阀（2）的主输出端依次连接的扩散泵（6）和气筒（7），气筒（7）和第二气动阀（4）的阀门端连接，第二气动阀（4）的连通端和波纹管（9）连接，在所述气动高阀（2）上安装有防爆装置（3）。