真空传输制程设备及方法

摘要

本发明公开了一种真空传输制程设备，其包括：至少两个进件腔以及至少两个出件腔；至少两个传输平台；一第一机械手臂；一第二机械手臂；其中，该加工介质能够穿过各传输平台、但无法穿过工件，各传输平台用于在装载工件后依次连续地从进件腔经该真空制程腔移向出件腔，使各工件连续地在不同平面处接受该加工介质的加工，然后在卸载工件后从出件腔经该真空制程腔移回进件腔。本发明还公开了另一种真空传输制程设备以及两种真空传输制程方法。本发明能够保证整个加工过程的连续有效进行，从而实现极高的生产效率。

主权项

一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有一用于利用一加工介质对工件进行加工的加工装置，其特征在于，该真空传输制程设备还包括：至少两个连接于该真空制程腔一侧的进件腔以及至少两个连接于该真空制程腔另一侧的出件腔，各进件腔与各出件腔一一对应，并均在大气状态与真空状态之间切换；至少两个与各对进件腔及出件腔一一对应的传输平台，各传输平台均沿着进件腔、该真空制程腔、出件腔的路线往复移动，各传输平台的移动平面不同、但该加工介质的传输路径穿过所有传输平台的移动平面；一第一机械手臂，用于从大气环境向位于进件腔中的传输平台装载工件；一第二机械手臂，用于从位于出件腔中的传输平台向大气环境卸载工件；其中，该加工介质能够穿过各传输平台、但无法穿过工件，各传输平台用于在装载工件后依次连续地从进件腔经该真空制程腔移向出件腔，使各工件连续地在不同平面处接受该加工介质的加工，然后在卸载工件后从出件腔经该真空制程腔移回进件腔。