发明名称 | 低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器 | ||
摘要 | 本发明公开了一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器,涉及扫描探针显微镜的扫描结构,包括XYZ压电扫描管、导轨架、滑杆、弹簧片,XYZ压电扫描管与滑杆共轴并且在一端相互固定,弹簧片将滑杆外壁平行地压于导轨架的导轨上,滑杆的两端皆伸出于导轨架的导轨长度以外。本发明具有结构简单、工作高度稳定、回差极小的优点。利用本发明首次制成了仅使用小尺寸XYZ压电扫描管就能以低电压进行扫描成像的扫描探针显微镜,解决了现有技术不能兼顾这两个有利条件的难题。另外,使用本发明也制成了无需隔音、减振也能出同样高质量原子分辨率图像的扫描探针显微镜。 | ||
申请公布号 | CN103616532A | 申请公布日期 | 2014.03.05 |
申请号 | CN201310552279.X | 申请日期 | 2013.11.06 |
申请人 | 中国科学技术大学 | 发明人 | 王琦;陆轻铀 |
分类号 | G01Q10/00(2010.01)I | 主分类号 | G01Q10/00(2010.01)I |
代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人 | 杨学明;孟卜娟 |
主权项 | 一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器,包括XYZ压电扫描管(1),其特征是还包括导轨架(2)、滑杆(3)、弹簧片(4),所述XYZ压电扫描管(1)与滑杆(3)共轴并且在一端相互固定,所述弹簧片(4)将滑杆(3)外壁平行地压于导轨架(2)的导轨(2a)上,滑杆(3)的两端皆伸出于导轨架(2)的导轨(2a)长度以外,这种形成摩擦力的结构不仅最简单,而且局域摩擦条件和摩擦系数易于保持一致,同时形成摩擦力的正压力在全部行程内不会发生变化,从而产生恒定、一致、可重复的摩擦力,降低了扫描器的回差;此外,导轨(2a)的全长处于滑杆(3)长度之内,避免了导轨(2a)端面与滑杆(3)端面之间的相互作用,使得导轨(2a)与滑杆(3)之间的摩擦面不易受损,提高了摩擦的重复性,也减少了回差。 | ||
地址 | 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号 |