一种具有双温控制功能的加热器的加工方法

摘要

一种具有双温控制功能的加热器的加工方法，其加工步骤如下：a.采用高均匀度的铝合金加热器主体；b.采用高性能的耐热镍铬铁合金外壳加热管；c.加热管安装入加热器主体；由考虑气体的热膨胀系数的盖板焊接密封；d.采用双接口热电偶，插入加热器主体带U形沟槽面的孔中；e.冷却加热管道设置在加热管上表面；分别使用冷或热的气体通过冷却加热管道来冷却或加热；f.加热器上加工密封面，保证生产时腔室的真空度。本发明通过加热管内部的精确设计的高性能加热丝产生热量，并通过热量的传导使加热器主体共同发热，通过温度控制器及冷却系统精确提供制造所需的各种温度。可以使半导体晶圆非常迅速地提高温度，从而提高生产效率。

主权项

一种具有双温控制功能的加热器的加工方法，其特征在于:加工步骤如下：采用高均匀度的铝合金加热器主体；采用高性能的耐热镍铬铁合金外壳加热管；加热管安装入加热器主体；由考虑气体的热膨胀系数的盖板焊接密封；d.采用双接口热电偶，插入加热器主体带U形沟槽面的中央孔中，精确测量控制加热器温度；e.冷却加热管道设置在加热管上表面；分别使用冷或热的气体通过冷却加热管道来冷却或加热；f加热器上加工密封面，保证生产时腔室的真空度。