一种高温箔式应变计及其制造方法

摘要

本发明公开了一种高温箔式应变计及其制造方法，包括敏感栅（2）、引线（4）、临时框架（5）三部分。通过胶粘剂或热熔将临时基底（1）与金属合金箔热合层压，利用光刻、化学蚀刻或激光蚀刻而成。通过机械、化学、激光等方式调整敏感栅（2）电阻值达到目标阻值。通过化学方式将临时基底（1）溶化或去除翻转到临时框架（3）上，使应变计敏感栅部分裸露。最后采用热熔焊、电阻焊、超声焊等方式将焊盘与引线（4）熔融紧密相连，形成高温箔式应变计。本发明高温箔式应变计具有多种电阻值，电阻分散性不大于±1%，具有单轴、双轴和多轴敏感栅结构，满足400~1100℃范围类应力应变稳定可靠测量。

主权项

一种高温箔式应变计的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）敏感栅制造：将金属合金箔与临时基底热合层压在一起，然后通过平面化学蚀刻、激光蚀刻等工艺形成敏感栅部分；（2）调阻：通过机械、化学、激光方式调整敏感栅电阻值达到目标阻值；（3）反转临时框架：通过化学方式将临时基底溶化或去除翻转到临时框架上，使应变计敏感栅部分裸露；（4）焊接成型：将敏感栅的焊盘与引线熔融紧密相连，最后经过分选、测试，将敏感栅、临时框架、引线固定在包装载体上形成高温箔式应变计。