一种前驱物流场控制棒

摘要

本发明公开了一种氢化物气相外延（HVPE）喷头设计，更具体地是提供了一种用于控制前驱物流场的控制棒。在一立式HVPE生长系统的前驱物通道中，所述控制棒包括始段圆环结构，中段实心圆柱体，末段控制端，所述三段同轴。所述圆环结构分为内外两侧，并包含复数个圆形通孔，所述复数个圆形通孔至少一个穿过圆环结构的内外两侧。该圆环结构外径与中段圆柱体直径相等；与中段圆柱体毗邻的末段控制端为圆锥、圆台、倒圆台或圆柱体结构中的一种，所述控制端与中段圆柱体相连处其直径相同。本发明提供的前驱物控制棒能使前驱物径向流场分布的均匀性最佳化，并扩展前驱物流场调控手段。

主权项

一种氢化物气相外延（HVPE）喷头设计，特别是一种用于控制前驱物流场的控制棒，其特征在于，所述控制棒包括三部分：其始段为圆环结构，中段为圆柱实体，末段为控制端，所述三段同轴；所述圆环结构分为内外两侧，且包含复数个圆形通孔，该复数个通孔至少一通孔穿过圆环内外两侧为等直径通孔，所述控制棒圆环结构上至少一圆形通孔开孔方向为圆环半径或圆环外围切线方向；所述前驱物控制棒外围为前驱物通道，即控制棒位于悬挂立式HVPE系统或倒置支撑HVPE系统的前驱物通道中，所述前驱物通道外壁内侧始段设置有导流板，其末段为裙体逐渐扩展结构；所述前驱物可由HCl与液态金属Ga合成，如GaCl；所述前驱物中的一种，其特征在于，该前驱物可为含氮气体，如NH3。