发明名称 |
一种基于PMOS管辅助触发的双向可控硅器件 |
摘要 |
本发明公开了一种基于PMOS管辅助触发的双向可控硅器件,包括P衬底层和四个PMOS管;P衬底层上设有第一N阱、P阱和第二N阱;第一N阱上设有第一N+有源注入区、第一P+有源注入区和第二N+有源注入区;第二N阱上设有第三N+有源注入区、第二P+有源注入区和第四N+有源注入区;第三N+有源注入区与第二PMOS管相连,第一PMOS管与第一金属电极相连;第二N+有源注入区与第三PMOS管相连,第四PMOS管与第二金属电极相连。本发明可控硅器件利用PMOS管作为辅助触发单元,使得器件具有可调且较低的正反向击穿电压,使得器件可适用于一些混合电压接口电路或者不同电源域间的ESD防护应用。 |
申请公布号 |
CN102544085B |
申请公布日期 |
2014.03.05 |
申请号 |
CN201210060419.7 |
申请日期 |
2012.03.09 |
申请人 |
浙江大学 |
发明人 |
郑剑锋;韩雁;马飞;董树荣;吴健;苗萌;曾杰 |
分类号 |
H01L29/74(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L27/07(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/74(2006.01)I |
代理机构 |
杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 |
代理人 |
胡红娟 |
主权项 |
一种基于PMOS管辅助触发的双向可控硅器件,其特征在于,包括:P衬底层(10)和四个PMOS管;所述的P衬底层(10)上从左到右依次设有第一N阱(21)、P阱(23)和第二N阱(22),所述的P阱(23)与第一N阱(21)和第二N阱(22)并排相连;所述的第一N阱(21)上从左到右依次并排设有第一N+有源注入区(41)、第一P+有源注入区(51)和第二N+有源注入区(42);所述的第二N阱(22)上从左到右依次并排设有第三N+有源注入区(43)、第二P+有源注入区(52)和第四N+有源注入区(44);所述的第一N+有源注入区(41)与第一P+有源注入区(51)、第一P+有源注入区(51)与第二N+有源注入区(42)、第二N+有源注入区(42)与第三N+有源注入区(43)、第三N+有源注入区(43)与第二P+有源注入区(52)或第二P+有源注入区(52)与第四N+有源注入区(44)通过浅槽(3)隔离;所述的第一N+有源注入区(41)和第一P+有源注入区(51)通过第一金属电极(61)相连,所述的第二P+有源注入区(52)和第四N+有源注入区(44)通过第二金属电极(62)相连;所述的第三N+有源注入区(43)与第二PMOS管的源极、栅极和阱电极相连,第一PMOS管的漏极、栅极和阱电极与第一金属电极(61)相连;所述的第二N+有源注入区(42)与第三PMOS管的源极、栅极和阱电极相连,第四PMOS管的漏极、栅极和阱电极与第二金属电极(62)相连;第一PMOS管的源极与第二PMOS管的漏极相连,第三PMOS管的漏极与第四PMOS管的源极相连。 |
地址 |
310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 |