研磨头及研磨装置

摘要

本发明是一种研磨头，至少具备：环形刚性环；以均匀的张力粘贴于该刚性环上的橡胶膜；与上述刚性环结合，并与上述橡胶膜和上述刚性环一起形成空间部的背板；以及与上述刚性环同心地设置于上述橡胶膜的下表面部的周边部，并保持工件的边缘部的环形模板，在上述橡胶膜的下表面部保持上述工件的背面，并使该工件的表面与粘贴于平台上的砂布滑动接触而进行研磨，上述研磨头，其特征在于，进一步具有已充入上述空间部内的不可压缩性流体。由此，提供一种研磨头及研磨装置，该研磨头在橡胶膜上保持工件的背面，并利用模板保持工件的边缘部，不仅能够进行工件的完工研磨，而且能够将整个工件研磨成均匀而不会由模板的厚度所限。

主权项

一种研磨头，至少具备：环形刚性环；以均匀的张力粘贴于该刚性环上的橡胶膜；与上述刚性环结合，并与上述橡胶膜和上述刚性环一起形成空间部的背板；以及与上述刚性环同心地设置于上述橡胶膜的下表面部的周边部，并保持工件的边缘部的环形模板，在上述橡胶膜的下表面部保持上述工件的背面，并使该工件的表面与粘贴于平台上的砂布滑动接触而进行研磨，上述研磨头，其特征在于，进一步具有已充入上述空间部内的不可压缩性流体。