一种具有快速对准功能的新型纳米压印设备

摘要

本发明公开了一种具有快速对准和压印功能的新型纳米压印设备，包括机台，还包括：压印腔机构，其设置于上述机台上；模板平台，其连接一球轴和一Z轴运动驱动装置，该模板平台的上方还设置有一视觉观察装置；基板平台，其设置于上述机台上、上述模板平台的下方，该基板平台通过一平台驱动装置驱动，在上述压印腔机构和模板平台之间来回移动。本发明不但可以实现多层图像套刻压印，而且可以形成对准、贴合和压印等一系列的工作，提高整体的工作效率。

主权项

具有快速对准和压印功能的新型纳米压印设备，包括机台，其特征在于：还包括：压印腔机构，其设置于所述机台上；模板平台，其连接一球轴和一Z轴运动驱动装置，所述模板平台的上方还设置有一视觉观察装置；基板平台，其设置于所述机台上、所述模板平台的下方，所述基板平台通过一平台驱动装置驱动，在所述压印腔机构和所述模板平台之间来回移动。