一种非晶金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法

摘要

一种非晶金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法，制备方法依次包括：a.在衬底上制备并图形化金属导电层作为栅极；b.在所述金属导电层上沉积第一绝缘薄膜作为栅极绝缘层；c.在所述栅极绝缘层上沉积非晶金属氧化物薄膜并图形化作为有源层；d.在所述有源层上沉积金属层然后图形化作为源、漏电极；e.对背沟道进行稳定化处理；f.在所述源、漏电极上沉积第二绝缘薄膜作为钝化层。本发明设置了背沟道稳定化处理步骤，能够降低源、漏电极刻蚀后在背沟道处的刻蚀残留和损伤，所制备的薄膜晶体管的稳定性高，且工艺简单、成本低廉。

主权项

一种非晶金属氧化物薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，依次包括如下步骤：a.在衬底上制备并图形化金属导电层作为栅极；b.在所述金属导电层上沉积第一绝缘薄膜作为栅极绝缘层；c.在所述栅极绝缘层上沉积非晶金属氧化物薄膜并图形化作为有源层；d.在所述有源层上沉积金属层然后图形化作为源、漏电极；e. 采用湿法处理或者采用干法处理对背沟道进行稳定化处理；f.在所述源、漏电极上沉积第二绝缘薄膜作为钝化层。