发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI429046 申请公布日期 2014.03.01
申请号 TW098115797 申请日期 2009.05.13
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 发明人 张宏宾;许国经;陈承先;邱文智;余振华
分类号 H01L23/52;H01L23/48 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号