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发明名称 具有微晶结构之矽薄膜的形成方法
摘要
申请公布号 TWI428466 申请公布日期 2014.03.01
申请号 TW099127170 申请日期 2010.08.13
申请人 国立成功大学 台南市东区大学路1号 发明人 李清庭
分类号 C23C16/24 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项
地址 台南市东区大学路1号
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