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经营范围
发明名称
测量微影装置中之动态定位误差之属性的方法、资料处理装置及电脑程式产品
摘要
申请公布号
TWI428708
申请公布日期
2014.03.01
申请号
TW099143354
申请日期
2010.12.10
申请人
ＡＳＭＬ荷兰公司 荷兰
发明人
史达尔 法兰克;文 德 兰恩 汉斯;霍夫曼 捷罗德 卡拉斯 乔纳斯;麦格奴森 史芬 古纳 克利斯特;巴特勒 汉斯
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
荷兰
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