发明名称 贴合装置及贴合方法
摘要
申请公布号 TWI429010 申请公布日期 2014.03.01
申请号 TW099132695 申请日期 2010.09.28
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 中村充一;秋山直树;原田宗生
分类号 H01L21/67 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人 林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项
地址 日本