发明名称 半导体装置之制造方法、半导体装置之制造装置、电脑记忆媒体及记忆有处理程式之记忆媒体
摘要
申请公布号 TWI428976 申请公布日期 2014.03.01
申请号 TW096127562 申请日期 2007.07.27
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 丸山智久;出道仁彦;吹野康彦
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本