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发明名称 处理装置
摘要
申请公布号 TWI429016 申请公布日期 2014.03.01
申请号 TW097120746 申请日期 2008.06.04
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 野村正道;小泉建次郎;河西繁
分类号 H01L21/683 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本
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