| 摘要 |
1. Газоразрядный, в частности, эксимерный лазер или лазер на молекулярном фторе, включающий в себя: заполненную газовой смесью лазерную камеру, состоящую, по меньшей мере, частично из керамического материала и имеющую отстоящие друг от друга протяженные первый и второй электроды, определяющие область разряда между ними, с первым электродом, расположенным вблизи или непосредственно на внутренней поверхности лазерной камеры, по меньшей мере, один протяженный блок предыонизации; систему циркуляции газа; набор конденсаторов, расположенных вне лазерной камеры и соединенных с первым и вторым электродами через электрические вводы лазерной камеры и газопроницаемые обратные токопроводы, расположенные в лазерной камере по обе стороны электродов; источник питания, подключенный к конденсаторам, в которомлазерная камера включает в себя керамическую трубу с двумя торцевыми фланцами, которые жестко скреплены между собой посредством протяженной крепежной системы,и керамическая труба лазерной камеры имеет с внутренней стороны протяженную нишу, в которую установлен, по меньшей мере, первый электрод.2. Лазер по п.1, в котором части внутренней поверхности керамической трубы, примыкающие к нише, в которую установлен первый электрод, расположены заподлицо с первым электродом и образуют расположенные верх и вниз по потоку от первого электрода направляющие газового потока/спойлеры.3. Лазер по п.1, в котором керамическая труба лазерной камеры имеет с внутренней стороны протяженную нишу, в которой, наряду с первым электродом размещена, по меньшей мере, часть области разряда, и внутренние грани ниши, расположенные по обе стороны |
