| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Maßstabseinrichtung, welche in der Lage ist, Absolutpositionsinformation in einer Messrichtung auf einer Messachse zu beschaffen, sowie Relativpositionsinformation, einem Parallelbewegungswert in einer Richtung senkrecht zur Messrichtung sowie Winkelinformation in einer Bewegungs- oder Gierrichtung, und welche verwendet wird als Bezugsmaßstab zur Verwendung beim Korrigieren von Bewegungsfehlern in einer Maschine. Von einem Maßstabshauptteil (10) mit einer Absolutspur (11), auf welcher eine Absolutanordnung magnetisch aufgezeichnet ist und bei welcher Rasterspuren (12A und 12B) ausgebildet sind durch magnetisches Aufzeichnen von Rastersignalanordnungen auf zwei Seiten der Absolutspur, so dass diese in umgekehrten Richtungen relativ zu einer Messrichtung geneigt sind, wird auf Grund jeweiliger Detektionsausgaben von einem Absolutanordnungsdetektionskopf (21) und von Rastersignaldetektionsköpfen (22A1, 22A2, 22B1 und 22B2) von einer Betriebsverarbeitungseinheit (30) Absolutpositionsinformation aus einer Detektionsausgabe durch den Absolutanordnungsdetektionskopf (21) sowie Relativpositionsinformation in einer Messrichtung auf einer Messachse aus Detektionsausgaben durch die Rastersignaldetektionsköpfe (22A1, 22A2, 22B1 und 22B2) und darüber hinaus Parallelbewegungswertinformation in einer Richtung senkrecht zur Messrichtung sowie Rotationswinkelinformation in einer Bewegungs- oder Gierrichtung erzeugt.</p> |
