光学单元、照明光学设备、曝光设备和装置制造方法

摘要

一种照明光学设备具有光学单元3。所述光学单元具有：分光器35，用以使入射射束分裂成两个射束；第一空间光调制器33，其可布置于第一射束的光学路径中；第二空间光调制器34，其可布置于第二射束的光学路径中；和光组合器36，其将已通过所述第一空间光调制器的射束与已通过所述第二空间光调制器的射束组合；所述第一空间光调制器和所述第二空间光调制器中的每一者具有二维地布置且个别地被控制的多个光学元件33a、34a。

主权项

一种光学单元，使用于通过由光源所供应的射束来对第一面进行照明的照明装置中，且将射束传导到为了在所述照明装置的光瞳面上形成光强度分布的分布形成光学系统，其特征在于，其包含：分光器，用以将所述光源所供应的射束分裂成多个射束；第一空间光调制器，具有：在所述多个射束中的第一射束的光学路径中、被二维地布置和个别地能够被控制的多个光学元件，且将为了在所述光瞳面形成预定光强度分布的第一角度分布施加到所述第一射束；第二空间光调制器，具有：在所述多个射束中的第二射束的光学路径中、被二维地布置和个别地能够被控制的多个光学元件，且将为了在所述光瞳面形成预定光强度分布的第二角度分布施加到所述第二射束；以及光组合器，用以将已通过所述第一空间光调制器的射束与已通过所述第二空间光调制器的射束组合；其中，入射到所述分光器的所述射束的入射光路、与利用所述光组合器而组合的所述多个射束的出射光路是：在相同方向上延伸。