压电式微型扬声器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种压电式微型扬声器及其制造方法。在所述压电式微型扬声器中，振动膜被分为第一区域和第二区域。第一区域可以由能够最大化激振力的材料形成，第二区域可由初始应力和杨氏模量小于第一区域的初始应力和杨氏模量的材料形成。因此，可以改善振动膜的变形效率，使得输出声压级增加。

主权项

一种压电式微型扬声器，所述压电式微型扬声器包括：压电板，根据施加到压电板的电压变形；振动膜，因压电板的变形而振动并包括第一区域和第二区域；第一电极，形成在压电板上；第二电极，形成在第一区域上；以及聚合物层，形成在第一电极或第二电极上，其中，聚合物层具有比压电板的杨氏模量小的杨氏模量，其中，第一区域由杨氏模量与压电板的材料的杨氏模量基本相同的材料形成，第二区域由与聚合物层相同的材料形成。