发明名称 |
玻璃基板的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种能够从实施了坚固的强化处理的大型的玻璃基材稳定地获取多片玻璃基板的玻璃基板的制造方法。玻璃基板的制造方法包括第一化学研磨步骤及第二化学研磨步骤。在第一化学研磨步骤中,以规定的单面研磨量仅对玻璃基材(10)的第一主面实施化学研磨处理。在第二化学研磨步骤中,对第一主面及第二主面的双方实施化学研磨处理。然后,在第一主面形成的第一分区槽(102)及在第二主面形成的第二分区槽(104)在从玻璃基材(10)的厚度方向的中心线(110)偏离了相当于单面研磨量的偏离量(114)的位置贯通。 |
申请公布号 |
CN103608309A |
申请公布日期 |
2014.02.26 |
申请号 |
CN201280029748.3 |
申请日期 |
2012.06.29 |
申请人 |
株式会社NSC |
发明人 |
西山荣;柏原康宏 |
分类号 |
C03C15/00(2006.01)I;C03B33/02(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;G06F3/041(2006.01)I |
主分类号 |
C03C15/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 |
代理人 |
王刚;龚敏 |
主权项 |
一种玻璃基板的制造方法,其特征在于,通过化学研磨处理将玻璃基材切割分离而获取多个玻璃基板,所述玻璃基材为实施了强化处理且以跨开应当切割的位置即分区线的方式在第一主面及第二主面上形成有抗蚀剂层的玻璃基材,所述玻璃基板的制造方法包括:第一化学研磨步骤:以规定的单面研磨量仅对第一主面进行化学研磨处理;第二化学研磨步骤:对第一主面及第二主面的双方进行化学研磨处理,使在第一主面形成的第一分区槽及在第二主面形成的第二分区槽在从玻璃基材的厚度方向的中心偏离了相当于所述单面研磨量的量的位置贯通。 |
地址 |
日本大阪府丰中市 |