发明名称 太阳能PEG基回收切割液再利用方法及基于此方法得到的切割液
摘要 本发明涉及太阳能PEG基回收切割液再利用方法及基于此方法得到的太阳能切割液。该方法包括:向PEG基切割回收液中添加分散剂、阳离子表面活性剂、消泡剂、鳌合剂和金属腐蚀抑制剂。可以100%利用PEG基的切割回收液,提高其稳定性,更好的分散SiC,配置的砂浆具有很好的分散性和再分散性。
申请公布号 CN102093929B 申请公布日期 2014.02.26
申请号 CN200910200317.9 申请日期 2009.12.11
申请人 安集微电子(上海)有限公司 发明人 于昊;宫勇;兰育辉
分类号 C10M175/00(2006.01)I;C10M161/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)N 主分类号 C10M175/00(2006.01)I
代理机构 上海翰鸿律师事务所 31246 代理人 李佳铭
主权项 一种太阳能PEG基回收切割液的再利用方法,其特征在于,所述方法包括:向PEG基切割回收液中添加分散剂、阳离子表面活性剂、消泡剂、鳌合剂和金属腐蚀抑制剂,其中所述PEG基切割回收液的质量百分含量为80%~98%;所述分散剂的质量百分含量为0.1%~10%;所述阳离子表面活性剂的质量百分含量为0.1%~10%;所述消泡剂的质量百分含量为0.1%~3%;所述鳌合剂的质量百分含量为0.1%~5%;所述金属腐蚀抑制剂的质量百分含量为0.1%~3%;所述分散剂是由丙烯酸,甲基丙酸酸,乙基丙烯酸,烯基磺酸,苯乙烯磺酸,马来酸酐,烷基丙烯氧基磺酸,丙烯酰胺基磺酸中的一种或多种单体单元得到的均聚物或共聚物的一种或多种的组成,所述均聚物或共聚物的分子量是800‑5000,所述阳离子表面活性剂选自氯化硬脂基二甲基苄基铵,四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵和苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种,所述消泡剂选自聚甲基硅氧烷、聚乙基硅氧烷、聚丙基硅氧烷、聚丁基硅氧烷、聚甲基乙基硅氧烷和聚二甲基硅氧烷中的一种或多种,所述鳌合剂选自苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑和4‑羧基苯并三氮唑中的一种或多种,所述金属腐蚀抑制剂选自酚类、羧酸类、羧酸酯类和酸酐类中的一种或多种。
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