减少图案效应的不对称快速热退火

摘要

本发明提供了一种使图案化衬底退火的快速热退火方法和系统，其可以使对衬底温度非均匀性的图案效应最小化。快速热退火系统包括前侧加热源和背面加热源。快速热退火系统的背面加热源提供使衬底温度升高至峰值退火温度的主要热量。前侧加热源提供热量使靠近衬底前侧的环境温度升高至一温度，该温度低于峰值退火温度约100℃至约200℃。这种用于快速热退火的不对称前侧和背面加热可以减少或消除图案效应并且改善WIW和WID器件性能均匀性。

主权项

一种对图案化衬底进行不对称快速热退火的方法，其包括：在快速热退火系统中加热所述图案化衬底至目标温度，所述目标温度低于峰值退火温度约100℃至约200℃，所述快速热退火系统具有前侧加热源和背面加热源；以及利用所述前侧加热源和背面加热源使所述图案化衬底的温度从所述目标温度升高至所述峰值退火温度，其中，所述前侧加热源提供的加热功率少于总加热功率的约50%，其中，在升温操作期间，所述背面加热源提供剩余热量以减少所述图案化衬底前侧的图案效应并且改善单片小片内（WID）器件性能的均匀性。