发明名称 |
高温加热炉绝热体 |
摘要 |
本发明揭露一种高温加热炉,其包括具有至少一个成型的热电偶封装件端口的热区绝热体以降低温度测量的变化性。该成型的热电偶封装件端口具有在该绝热体中面向热区的开口,其大于在该绝热体的该炉壳侧上的该开口。本发明也揭露一种方法,用于在利用具有成型的热电偶封装件端口的绝热体的高温加热炉中制造晶锭。 |
申请公布号 |
CN103608499A |
申请公布日期 |
2014.02.26 |
申请号 |
CN201280024487.6 |
申请日期 |
2012.03.07 |
申请人 |
GTAT公司 |
发明人 |
N·端木;D·C·斯凯尔顿;M·洛伊;D·D·阮 |
分类号 |
C30B35/00(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I;C30B9/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I |
主分类号 |
C30B35/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京戈程知识产权代理有限公司 11314 |
代理人 |
程伟 |
主权项 |
一种加热炉,包括:炉壳;热区,其位于该炉壳内,该热区包含至少一个加热组件在该热区中;绝热体,其围绕该热区,具有面向该炉壳的炉壳侧以及面向该加热组件的加热组件侧;以及至少一个热电偶封装件,其插入穿过在该绝热体中的至少一个热电偶封装件端口,其中,该热电偶封装件端口的尺寸从该绝热体的该炉壳侧向该绝热体的该加热组件侧增加。 |
地址 |
美国新罕布什尔州 |