用于晶体硅扩散的匀流板及其晶体硅扩散工艺炉

摘要

本实用新型公开了用于晶体硅扩散的匀流板及其晶体硅扩散工艺炉，用于晶体硅扩散的匀流板，包括匀流板本体，匀流板本体按照区域划分为炉顶板区域和炉底板区域，炉顶板区域内开有若干匀流通孔，炉底板区域为密封板体。本实用新型的有益效果为：1.在改善炉体内气流均匀性的同时，降低更换成本和维护时间，达到降本增效的效果。2.降低因匀流管被腐蚀断裂而造成的方块电阻异常等风险。3.进一步起到匀流气体的作用，改善扩散后方块电阻的均匀性。

主权项

用于晶体硅扩散的匀流板，其特征在于：包括匀流板本体（1），匀流板本体（1）按照区域划分为炉顶板区域和炉底板区域，炉顶板区域内开有若干匀流通孔（2），炉底板区域为密封板体；炉顶板区域和炉底板区域的面积相等；炉顶板区域和炉底板区域以匀流板本体（1）的轴线对称设置；匀流通孔（2）的大小一致均匀的分布在炉顶板区域内或匀流通孔（2）的大小从炉顶板区域指向炉底板区域方向由大变小、且同一高度的匀流通孔（2）大小一致的均匀分布在炉顶板区域内；且炉顶板区域位于工艺炉炉体（3）上部区域，炉底板区域位于工艺炉炉体（3）下部区域。