SECS/GEM消息交换设备和方法

摘要

本发明涉及半导体制造过程中的自动化控制技术领域，具体地说是一种SECS/GEM消息交换设备，应用于半导体设备与主机之间的通信中，其中，包括：配置文件管理器，设备端SECS/GEM驱动器，设备消息缓存器，主机端SECS/GEM驱动器，主机消息缓存器和转发器。本发明还涉及一种SECS/GEM消息交换方法。采用本发明的设备和方法，可以实现一台半导体设备连接多个主机，使一台半导体设备可以同时与多个主机同时通信，增加了消息交换的速度，提高了生产效率；在有多个上层系统的情况下可以有效解耦，使得各上层系统耦合度最低，便于系统维护；降低了EAP系统的压力，同时也缩短了上层系统在数据接收时的延迟。

主权项

一种SECS/GEM消息交换设备，应用于半导体设备与主机之间的通信中，其特征在于，包括：配置文件管理器，用于设定所述半导体设备与所述主机之间进行消息交换的配置文件；设备端SECS/GEM驱动器，用于在所述半导体设备发送设备消息时，对所述设备消息进行编码、发送；或者用于对转发后的已编码主机消息进行解码，并将已解码主机消息发送到所述半导体设备；设备消息缓存器，用于在发送已编码设备消息时，将已编码设备消息进行缓存排序；主机端SECS/GEM驱动器，用于在所述主机发送主机消息时，对所述主机消息进行编码、发送；或者用于对转发后的已编码设备消息进行解码，并将已解码设备消息发送到所述主机；主机消息缓存器，用于对转发后的已编码设备消息进行缓存排序；转发器，用于根据所述配置文件对发送后的已编码设备消息进行转发；或者用于根据所述配置文件对发送后的已编码主机消息进行转发。