一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法

摘要

一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法；含有以下步骤：清洗制绒槽：用纯水反复的清洗槽体冲洗掉槽中的杂质，如果没有清洗到中性，会极大的影响到制绒结果，影响制绒外观和电性能；确定混醇比例：确定制绒时候的混醇比例为(重量配比)：乙醇0.5；异丙醇0.8；甘油1.2；异丁醇0.6；提高槽体内温度到75℃：制造绒面，形成金字塔；制绒25分钟：保证金字塔的生长与形成；使用QDR快排清洗方式清洗：清洗表面残液防止药液残留；经过正常的其他段工艺扩散、PECVD、丝印后观察绒面和效率。

主权项

一种用于晶体硅制绒的混醇工艺方法;其特征在于含有以下步骤：（1）清洗制绒槽：用纯水反复的清洗槽体冲洗掉槽中的杂质，如果没有清洗到中性，会极大的影响到制绒结果，影响制绒外观和电性能；（2）确定混醇比例：确定制绒时候的混醇比例为重量配比,所述重量配比具体为：乙醇0.3‑0.5；异丙醇0.8‑1.5；甘油1.2‑2.1；异丁醇0.6‑0.8；（3）提高槽体内温度到75℃：制造绒面，形成金字塔；（4）制绒25分钟：保证金字塔的生长与形成；（5）使用QDR快排清洗方式清洗：清洗表面残液防止药液残留；（6）经过正常的其他段工艺扩散、PECVD、丝印后观察绒面和效率。