| 摘要 |
<p>Tepelně tvarované křemíkové plátky pro přesnou rentgenovou optiku, připravitelné tvarováním z výchozích rovinných monokrystalických křemíkových plátků (1) zahříváním z teploty okolí na tvarovací teplotu v rozmezí 1200 až 1400 .degree.C s výdrží na konstantní teplotě po dobu 1 minuty až 6 hodin a poté ochlazením, přičemž tvarování, zahřívání i ochlazování je prováděno v ochranné atmosféře samotného vodíku nebo v ochranné atmosféře směsi kyslíku s argonem, nebo kyslíku s dusíkem při parciálním tlaku kyslíku v rozmezí 1.10.sup.-8.n. Pa až 21 kPa, a při současném působení přítlačnou silou v rozpětí 1 až 200 N, kde každý monokrystalický výchozí křemíkový plátek (1) a) je předem dopovaný alespoň jedním prvkem ze skupiny, zahrnující bor, fosfor, arsen a antimon, v množství do 1,8.10.sup.21.n. atomů v jednom cm.sup.3.n. materiálu výchozího monokrystalického křemíkového plátku; b) vykazuje rovinnost pod 10 .mi.m; c) má tloušťku pod 0,8 mm; d) má krystalografickou orientaci <100> nebo <111>; e) má střední hodnotu mikrodrsnosti R.sub.a .n.povrchu menší než R.sub.a .n.= 0,6 nm na funkční odrazové ploše; přičemž vytvarovaný křemíkový plátek (10) má požadovaný optický tvar s funkčním odrazovým povrchem f) s odchylkou od požadovaného tvaru pod 20 .mi.m; a g) optickou kvalitu se střední hodnotou mikrodrsnosti R.sub.a .n.pod 1,0 nm</p> |
