发明名称 制造具有选择性发射器的光伏电池的方法
摘要 一种制造具有选择性发射器的光伏电池的方法,包括下述步骤:在n-型或p-型硅衬底(1)上沉积包括n型掺杂剂的抗反射层(7),该沉积在能够加速n型掺杂剂原子在衬底(1)内的扩散的化合物的存在下进行;通过抗反射层(7)的至少一个区域的n掺杂剂的局部扩散来过掺杂衬底(1)的至少一个区域以形成至少一个n++过掺杂的发射器(6);在至少一个n++过掺杂的发射器(6)上沉积至少一种n-型导电材料(3);在衬底(1)的与包括抗反射层(7)的表面相反的表面上沉积至少一种p-型导电材料(4);通过退火同时形成n触点(3)和p触点(4)及n+发射器(5),退火能够在衬底内扩散来自抗反射层(7)的n掺杂剂。
申请公布号 CN103608934A 申请公布日期 2014.02.26
申请号 CN201280025262.2 申请日期 2012.04.26
申请人 原子能与替代能源委员会 发明人 伯特兰·帕维特-萨洛蒙;塞缪尔·加尔;塞尔文·曼纽尔
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;H01L21/225(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人 周靖;郑霞
主权项 一种制造具有选择性发射器的光伏电池的方法,包括下述步骤:‑在n‑型或p‑型硅衬底(1)上沉积包括n型掺杂剂的抗反射层(7),所述沉积在能够加速n型掺杂剂原子在所述衬底(1)内的扩散的化合物的存在下进行;‑通过所述抗反射层(7)的至少一个区域的n掺杂剂的局部扩散来过掺杂所述衬底(1)的至少一个区域,以形成至少一个n++过掺杂的发射器(6);‑进行以下沉积操作:○在所述至少一个n++过掺杂的发射器(6)上沉积至少一种n‑型导电材料(3);及○在所述衬底(1)的与包括所述抗反射层(7)的表面相反的表面上沉积至少一种p‑型导电材料(4);‑通过退火同时形成n触点(3)和p触点(4)及n+发射器(5),所述退火能够在所述衬底内扩散来自所述抗反射层(7)的n掺杂剂。
地址 法国巴黎