一种菲林结构电容式触摸屏感应器线路图的一体成型制作方法及其制成的产品

摘要

本发明涉及一种菲林结构电容式触摸屏感应器线路图的一体成型制作方法及其制成的产品，包括：裁切预定尺寸的镀铜ITO；在镀铜ITO表面上涂敷液态光刻胶，并烘烤固化为光阻层；采用光罩对涂上光阻层的镀铜ITO进行曝光；将曝光后的镀铜ITO进行显影；将显影后的镀铜ITO进行金属图案蚀刻；将蚀刻出金属图案后的镀铜ITO进行ITO图案蚀刻；将蚀刻后的镀铜ITO的光阻层进行剥离。具有简化工艺、提高产品优良率、降低生产成本的优点。

主权项

一种菲林结构电容式触摸屏感应器线路图的一体成型制作方法，包括以下步骤：a）、裁切预定尺寸的镀铜ITO；b）、涂布：在镀铜ITO表面上涂敷液态光刻胶，并烘烤固化为光阻层；c）、曝光：采用光罩对涂上光阻层的镀铜ITO进行曝光；d）、显影：将曝光后的镀铜ITO进行显影；e）、蚀刻金属层：将显影后的镀铜ITO进行金属图案蚀刻；f）、蚀刻ITO层；将蚀刻出金属图案后的镀铜ITO进行ITO图案蚀刻；g）、剥膜：将蚀刻后的镀铜ITO的光阻层进行剥离。