发明名称 |
WAT测试系统 |
摘要 |
本发明公开了一种WAT测试系统,通过在现有的WAT测试系统中增加查找模块和显示模块,在利用测试模块对产品进行WAT测试前,预先利用该查找模块根据测试条件模块中存储的多个测试结构名称,查找测试结构模块中是否存在与每个测试模块结构名称相同的测试结构名称,若存在,则可启动测试模块对产品进行WAT测试工艺;若不存在,则通过显示模块显示在测试结构模块中缺少的测试结构名称,从而避免了漏测数据的情况发生,进而完善了WAT测试系统,能够利用该系统精确反映产品的良率,为生产提供准确有力的数据,减少了生产隐患。 |
申请公布号 |
CN103605092A |
申请公布日期 |
2014.02.26 |
申请号 |
CN201310505110.9 |
申请日期 |
2013.10.23 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
周波;莫保章 |
分类号 |
G01R35/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01R35/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
竺路玲 |
主权项 |
一种WAT测试系统,包括测试条件模块、测试结构模块和测试模块,其特征在于,所述测试系统还包括:查找模块和显示模块;所述测试条件模块和所述测试结构模块中均存储有多个测试结构名称的信息;所述查找模块根据所述测试条件模块中存储的测试结构名称于所述测试结构模块中进行查找操作,并将该查找操作的查找结果信息传送至所述测试模块或者所述显示模块;所述测试模块接收所述查找结果信息并进行WAT测试工艺;所述显示模块接收并显示所述查找结果信息。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |