一种带有可横向推拉的梳齿单元的射频微机械开关

摘要

本发明公开了一种带有可横向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，包括衬底、共面波导传输线和驱动部件，共面波导传输线包括信号线、左地线和右地线，信号线包括上端口、下端口和两组细长梁；每组细长梁由第一细长梁和第二细长梁组成，第一细长梁的上端固定连接在上端口底面的边缘，第二细长梁的下端固定连接在下端口顶面的边缘；驱动部件包括锚区和四组梳齿结构；每组梳齿结构包括固定梳齿单元和移动梳齿单元，固定梳齿单元固定连接在锚区的侧壁上，移动梳齿单元固定连接在细长梁上，移动梳齿单元的移动可以使第一细长梁的下部和第二细长梁的上部贴合或者分离。该结构的射频微机械开关可以提高隔离度，降低执行电压。

主权项

一种带有可横向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，其特征在于，包括衬底（1）、共面波导传输线和驱动部件；所述的共面波导传输线用于传输射频、微波信号，共面波导传输线包括信号线（2）和位于信号线（2）左右两侧的左地线（3）和右地线（4），信号线（2）分别与左地线（3）和右地线（4）之间留有间隙；信号线（2）包括呈纵向布置的上端口（21）和下端口（22），以及处于悬空状态的两组细长梁；左地线（3）、右地线（4）、上端口（21）和下端口（22）分别固定连接在衬底（1）上；每组细长梁由第一细长梁（23）和第二细长梁（24）组成，第一细长梁（23）的上端固定连接在上端口（21）底面的边缘，第二细长梁（24）的下端固定连接在下端口（22）顶面的边缘，并且第一细长梁（23）和第二细长梁（24）相对设置；所述的驱动部件包括固定连接在衬底（1）上并且位于两组细长梁之间的呈长方形的锚区（5）和处于悬空状态的四组梳齿结构（6）；每组梳齿结构（6）包括设有固定梳齿的固定梳齿单元（61）和设有移动梳齿的移动梳齿单元（62），固定梳齿单元（61）固定连接在锚区（5）的侧壁上，移动梳齿单元（62）固定连接在细长梁上；从第一细长梁（23）到锚区（5），移动梳齿单元（62）和固定梳齿单元（61）按照移动梳齿、固定梳齿顺序重复分布，从第二细长梁（24）到锚区（5），移动梳齿单元（62）和固定梳齿单元（61）按照固定梳齿、移动梳齿顺序重复分布；四组梳齿结构中的移动梳齿单元（62）的移动 可以使第一细长梁（23）的下部和第二细长梁（24）的上部贴合或者分离。