一种工件架硅粉清除装置

摘要

本实用新型涉及一种工件架硅粉清除装置，通过在排形离子风嘴上设置若干吹气嘴，并使吹气嘴分别位于每两个工件架极板之间；排形离子风嘴内的高压电源发生器将输送到排形离子风嘴内的压缩空气电离产生正负电荷；带有正负电荷的压缩空气通过吹气嘴吹向工件架极板表面，将其表面附着的硅粉所带的电荷中和，降低了硅粉的附着力；动力装置驱动排形离子风嘴在垂直方向上下往复运动，将工件架极板表面的硅粉吹落；通过设置在吹气嘴表面的刷毛，在排形离子风嘴上下运动过程中实现对工件架极板表面刷扫清除，提高了工件架的清洁度，节省了人力以及提高了清洁效率，减少PECVD镀膜针孔透空的形成，达到提高非晶硅薄膜转化效率的目的。

主权项

一种工件架硅粉清除装置，其特征在于：包括N个工件架极板（11）、两个上下布置的带轮Ⅰ（2）、包绕于两个带轮Ⅰ（2）上的传动皮带、连接于其中一带轮Ⅰ（2）一端的电机、安装于皮带上的活动支架Ⅰ（14）、连接于活动支架Ⅰ（14）的连接支架Ⅰ（13）、安装于连接支架Ⅰ（13）头端的并连接于压缩空气管路的排形离子风嘴（3）以及安装于排形离子风嘴（3）头端的N‑1个吹气嘴（18），所述每个吹气嘴（18）分别位于每两个工件架极板（11）之间，所述两个带轮Ⅰ（2）轴线之间的距离大于工件架极板（11）的高度。