清洗装置

摘要

该清洗装置具有：旋转保持部（2），其保持清洗对象物（15）并使其旋转；清洗液喷射部（7），其朝被所述旋转保持部（2）保持的所述清洗对象物（15）上的点状的清洗区域（S）喷射清洗液；清洗区域移动部（6），其使所述旋转保持部（2）和所述清洗液喷射部（7）中的至少一方移动，使所述清洗区域（S）从所述清洗对象物（15）的旋转中心朝外周侧进行相对移动；层状气流形成部（8），其以从所述清洗区域（S）相对于所述旋转中心的相对移动方向的后方侧覆盖所述清洗区域（S）的周围的方式，形成入射到所述清洗对象物（15）的表面的层状气流；以及层状气流移动部（6），其使所述层状气流的入射位置追随所述清洗区域（S）的相对移动而进行相对移动。

主权项

一种清洗装置，其具有：旋转保持部，其保持清洗对象物并使其旋转；清洗液喷射部，其向被所述旋转保持部所保持的所述清洗对象物上的点状的清洗区域喷射清洗液；清洗区域移动部，其使所述旋转保持部和所述清洗液喷射部中的至少一方移动，从而使所述清洗区域从所述清洗对象物的旋转中心朝外周侧相对移动；层状气流形成部，其以从所述清洗区域相对于所述旋转中心的相对移动方向的后方侧覆盖所述清洗区域的周围的方式，形成入射到所述清洗对象物的表面的层状气流；以及层状气流移动部，其使所述层状气流的入射位置追随所述清洗区域的相对移动而进行相对移动。