用于磁控溅射阳极棒的支撑件及包括其的磁控溅射装置

摘要

本发明涉及一种用于磁控溅射阳极棒的支撑件以及包括其的磁控溅射装置。该支撑件包括支撑棒和能与支撑棒固定配合的防镀挡板，支撑棒的第一端部构造成与阳极棒相配合的支撑端，第二端部构造成能与防镀挡板的安装孔固定连接的安装端以防止支撑棒从防镀挡板的安装孔中脱出，安装端的横截面相对于支撑棒的主体部分的横截面而缩小。根据本发明的支撑件的支撑棒与防镀挡片能牢固地连接在一起而不发生意外脱开。

主权项

一种用于磁控溅射阳极棒的支撑件，包括：支撑棒和能与所述支撑棒固定配合的防镀挡板，其中，所述支撑棒的第一端部构造成与阳极棒相配合的支撑端，第二端部构造成能与所述防镀挡板的安装孔固定连接的安装端以防止所述支撑棒从所述防镀挡板的安装孔中脱出，所述安装端的横截面相对于所述支撑棒的主体部分的横截面而缩小。