台装置以及台装置的控制方法

摘要

在本发明的台装置中，在试样或试样支架或旋转桌上设置能够测定位置和方向的标记，依照预定的动作模式进行台的旋转并进移动，测定这时的标记的位置和方向，根据其结果确定旋转桌的旋转中心位置，并且求出修正旋转误差的旋转角修正量和修正旋转中心位置的位置变动的并进修正量，生成对旋转角的修正量表，从修正量表中取得与输入的旋转角指令值或实际旋转角对应的修正量，修正所输入的旋转/并进指令值或检测出的旋转角/并进位置，控制台装置。

主权项

一种台装置，具备：旋转桌，其直接或经由试样支架载置试样；旋转机构，其使上述旋转桌旋转；并进机构，其使上述旋转桌并进移动；台控制单元，其根据从外部输入的旋转角指令值和并进位置指令值来控制上述旋转机构和上述并进机构，该台装置的特征在于，具备：设置在上述试样或上述试样支架或上述旋转桌上的能够测定位置和方向的标记；标记位置方向测定单元，其测定在依照预定的动作模式使上述旋转机构和上述并进机构动作时的上述标记的位置和方向；旋转中心确定单元，其根据上述测定的结果确定上述旋转桌的旋转中心位置；修正量表生成单元，其将修正上述旋转桌的旋转误差的旋转角修正量和修正上述旋转桌的旋转中心位置的位置变动的并进修正量生成为相对于旋转角的修正量；修正量表，其记录上述旋转角修正量和上述并进修正量；旋转机构控制单元以及并进机构控制单元，其从上述修正量表中取得与上述所输入的旋转角指令值或实际旋转角对应的上述旋转角修正量和上述并进修正量，使用取得的这些修正量控制上述旋转机构以及上述并进机构。