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发明名称
摘要
申请公布号 JPS4530333(Y1) 申请公布日期 1970.11.20
申请号 JP19670065578U 申请日期 1967.07.31
申请人 发明人
分类号 (IPC1-7):H01L21/92 主分类号 (IPC1-7):H01L21/92
代理机构 代理人
主权项
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