发明名称
摘要
申请公布号 NO120815(B) 申请公布日期 1970.12.07
申请号 NO19680004448 申请日期 1968.11.08
申请人 EURATOM 发明人 BLOCK M;WURM J;BEUCHERIE P
分类号 C23C14/34;C23C14/32;C23C14/40;H01J37/34;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址