液体中之粒子尺寸的检测方法及装置

摘要

本发明系于即使为液体中所含之不纯物之微粒子极少的状态下也能正确地且以低成本来检测粒子之尺寸。本发明系藉由光检测机构来检测由液体所含之粒子产生的绕射条纹，以检测粒子的尺寸的方法，包含：藉由沿着液体的流动方向分离设置之第1光检测机构及第2光检测机构来检测绕射条纹，并测量以第1光检测机构及第2光检测机构所产生之检测信号之峰值显现之时间的差分，即峰时间差T2、及检测信号之波形所构成的面积SQ，且依据业经测量之峰时间差T2及面积SQ来检测液体所含之粒子的尺寸。