III族氮化物半导体层、III族氮化物半导体元件及其制造方法

摘要

一种III族氮化物半导体元件的制造方法包含以下步骤：形成一III族氮化物半导体层于一基板上，其中III族氮化物半导体层具有一表面与基板连接，以及由与基板连接的表面蚀刻III族氮化物半导体层。