| 摘要 |
提供可以防止流体流路内残留喷镀残渣，并防止喷镀残渣所导致之污染及流体流路之孔阻塞之基板载置台、基板载置台之制造方法、基板处理装置、流体供给机构提供。;基板载置台(5)系将形成为圆板状之第1板状构件(510)、及第2板状构件(520)进行接合而构成，整体呈板状。于第1板状构件(510)，配设着多数之气体吐出孔(511)。于第2板状构件(520)，形成着以形成对气体吐出孔(511)供给气体之气体供给路为目的之沟(521)，沟(521)之底部(521a)为曲面状。于第1板状构件(510)之上侧之载置面，配设着静电夹头(11)。静电夹头(11)系由在陶瓷喷镀膜所构成之绝缘材(10)之间配置电极(12)而构成。 |
