| 摘要 |
一种晶圆盒底盘结构包含一下盖以及一封板，该下盖与该封板盖合形成该晶圆盒底盘；一转动装置，与该下盖相连，其设有至少二辅助元件及至少二弧形轨道；一弹性定位元件，设有至少二凹槽，该弹性定位元件与该至少二辅助元件相连；至少二门闩元件，其与该至少二弧形轨道相连；以及一T型联结元件，该T型联结元件与该至少二门闩元件以及该下盖部分连接。该转动装置系用以带动该至少二门闩元件移动，使该至少二辅助元件在该弹性定位元件内撑开转动，并利用该至少二凹槽达到定位效果，再藉由该T型联结元件摆荡转动使该至少二门闩元件朝斜方向推进。 |
