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发明名称
电路图案检查装置
摘要
本发明提供一种电路图案检查装置,其设有对于检查电极对的电极所对向的导电图案部分检测缺陷的补充电极。
申请公布号
TWI427302
申请公布日期
2014.02.21
申请号
TW101102457
申请日期
2012.01.20
申请人
OHT股份有限公司 日本
发明人
羽森宽
分类号
G01R31/28;G01R31/302;G01R31/02
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项
地址
日本
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