| 摘要 |
本发明揭示一种经组态以控制一可移动物件之位置的位置控制系统，该位置控制系统包括：一位置量测系统，该位置量测系统经组态以判定该可移动物件上之一感测器或感测器目标的一位置；一比较器，该比较器经组态以藉由比较一设定点位置与基于经量测位置之一位置回馈信号而提供一误差信号；一控制器，该控制器用以基于该误差信号而提供一控制信号；一前馈器件，该前馈器件用以基于关于所要位置之一第一信号而提供一前馈信号；及一或多个致动器，该一或多个致动器经组态以基于该控制信号及该前馈信号而作用于该可移动物件，其中该位置控制系统进一步包括一柔量补偿器件，该柔量补偿器件提供一柔量补偿信号，其中自该位置量测系统之一经量测位置减去该柔量补偿信号以获得该回馈位置信号。 |
