| 摘要 |
[课题]本发明系提供一种在洁净进行了真空蒸镀后的遮罩构件之际，将对于洁净时之遮罩构件及洁净装置的负荷抑制在最小限度。;[解决手段]利用乾洗净平台(11)将遮罩构件(1)保持为铅直状态，从雷射振荡器(22)介由扫描光学系(23)将雷射光脉冲局部性照射在遮罩板(2)表面，利用遮罩板(2)与蒸镀物质之间的热膨胀率差破碎遮罩板(2)表面的蒸镀物质，利用根据长条喷嘴(24)的负压吸力作用除去该碎片及薄片，其次在湿洗净平台(14)中，利用溶剂洗净部(12)进行超音波洗净，利用喷洒洗净部(13)使用溶剂洁净包含遮罩框架(3)之遮罩构件(1)整体。 |
