Verfahren zum Herstellen eines polykristallinen Keramikfilms

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines polykristallinen Keramikfilms auf einer Oberfläche (12) eines Substrats (10), bei welchem ein Partikelstrom auf die Oberfläche (12) geleitet und der Keramikfilm unter Abscheidung der Partikel auf die Oberfläche (12) ausgebildet wird, wobei bis zum Erreichen einer ersten vorgegebenen Schichtdicke der Partikelstrom mittels einer Blende entlang einer Vorzugsrichtung auf die Oberfläche (12) geleitet wird, welche einen vorgegebenen Einfallswinkel mit einer Flächennormalen der Oberfläche (12) einschließt. Erfindungsgemäß ist dabei vorgesehen, dass nach Erreichen der vorgegebenen Schichtdicke die Blende aus dem Partikelstrom entfernt wird und weitere Partikel bis zum Erreichen einer zweiten vorgegebenen Schichtdicke auf die Oberfläche (12) geleitet werden.