| 摘要 |
1. Устройство для осаждения металлических пленок, содержащее рабочую вакуумную камеру, эмиссионную сетку, полый катод, ограниченный эмиссионной сеткой, анод внутри полого катода, источник питания разряда, положительным полюсом соединенный с анодом, а отрицательным полюсом - с полым катодом, источник ускоряющего напряжения, положительным полюсом соединенный с анодом, а отрицательным полюсом - с эмиссионной сеткой, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит мишень в форме экрана, выполненного из фольги осаждаемого металла, и расположенного на внутренней поверхности полого катода, эмиссионную сетку из осаждаемого металла, полый держатель подложек, установленный в рабочей вакуумной камере напротив эмиссионной сетки, полость которого оснащена экраном из фольги осаждаемого металла, а также источник напряжения смещения, который положительным полюсом соединен с рабочей вакуумной камерой, а отрицательным полюсом - с эмиссионной сеткой.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит экран, закрепленный в центре эмиссионной сетки.3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит стержень, установленный на оси полого катода, соединенный с ним электрически и покрытый экраном из фольги осаждаемого металла.4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит постоянный магнит, установленный на наружной поверхности полого катода в центре его дна. |
