Verfahren und Vorrichtung zur hochpräzisen Vermessung von Oberflächen

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Vermessung zumindest eines Oberflächenabschnitts (15) eines Objekts (14), mit einem Halter (22), an welchem ein Referenzkörper (40) sowie eine Abstandsmesseinrichtung (42) angeordnet ist, wobei die Abstandsmesseinrichtung (42) bezüglich einer ersten Achse (50) und bezüglich einer zweiten Achse (52) schwenkbar am Halter (22) gelagert ist, und wobei die Abstandsmesseinrichtung (42) dazu ausgebildet ist, einen ersten Abstand (24) zu einem auf dem Oberflächenabschnitt (15) des Objekts (14) befindlichen ersten Punkt (19) und einen zweiten Abstand (48) zu einem auf dem Referenzkörper (40) befindlichen zweiten Punkt (21) zu bestimmen.