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<p>Es wird eine Beobachtungseinrichtung (10) für eine Vakuumvorrichtung (117), beispielsweise eine Beschichtungsvorrichtung, bereitgestellt, bei welchem ein Fensterelement (17) durch Bewegen eines beweglichen Elements (14) auf einfache Weise getauscht werden kann, ohne eine Vakuum in der Vakuumvorrichtung (117) wesentlich zu stören.</p> |
